近日，江蘇省新發(fā)布的《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標準》（報批稿）規(guī)定了半導(dǎo)體企業(yè)的水污染物和大氣污染物排放限值、監(jiān)測和監(jiān)控要求，以及標準實施與監(jiān)督等相關(guān)規(guī)定。其中，規(guī)定了非甲烷總烴最高允許排放濃度為50mg/m3。
案例：廢氣凈化設(shè)備RCO催化燃燒安裝在客戶廠區(qū)
半導(dǎo)體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機和無機物，包括許多有毒有害物質(zhì)，對環(huán)境危害較為嚴重，如不加以控制，將會產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
據(jù)國家統(tǒng)計局數(shù)據(jù)，截至2016年我國電子元件制造行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)數(shù)量達5751家。我國的半導(dǎo)體行業(yè)市場集中度較高，主要集中在長江三角洲、珠江三角洲、環(huán)渤海以及中西部區(qū)域。
含油煙廢氣治理設(shè)備——靜電式工業(yè)油煙凈化器
半導(dǎo)體行業(yè)目前絕大部分地區(qū)參照國家《大氣污染物綜合排放標準》(GB16297-1996)，僅對排放的部分等污染物苯、甲苯、二甲苯等規(guī)定了排放限值，國內(nèi)地方行業(yè)標準只有1~3個指標，不能面對行業(yè)排放污染物較多的實際問題;缺少行業(yè)特征污染物項目如苯系物、異丙醇、醛酮類、乙酸酯類等作為VOCs控制指標，也不能反映行業(yè)的生產(chǎn)特殊性。
此前，2018年發(fā)布的江蘇省《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標準》(征求意見稿)中規(guī)定的非甲烷總烴最高允許排放濃度為60mg/m3。
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